2022.12.01 論文が掲載されました

池田 真遥, 古城 直道, 山口 智実, 廣岡 大祐, 角田 勝俊, 棚田 憲一
「メカノケミカル砥石表面のBaSO₄砥粒が単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響」
砥粒加工学会誌，66巻, 12号，pp. 712-719 (J-STAGEへのリンク)