2019.08.01 論文が掲載されました

msl

仲矢 進悟, 古城 直道, 山口 智実, 廣岡 大祐, 松森 曻, 棚田 憲一
「目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響」
砥粒加工学会誌, 63巻, 8号, pp. 415-420 (J-STAGEへのリンク)