月: 2021年11月

ABTEC2021へのリンク 「メカノケミカル砥石を利用した単結晶シリコンの超仕上げ（第3報）―砥石作業面中の硫酸バリウム砥粒の割合が超仕上げ性能に及ぼす影響―」 (学部HPへのリンク)