研究設備 私たちの研究室では、試料作製、デバイス作製、物性評価を行うための一連の装置を所有しています。また、必要に応じて学内の共用施設を使う場合もあります。 RFスパッタ装置 抵抗加熱真空蒸着装置 超高真空蒸着装置 マグネトロンスパッタ装置 高真空加熱炉 赤外線加熱炉 真空誘導加熱炉 UV-O3処理装置 光学顕微鏡 超高真空走査型プローブ顕微鏡 マスクレスLED描画装置 二次元物質転写装置 フォトリソグラフィ装置 大気プローバー 真空プローバー UV-VIS FT-IR 分光蛍光光度計 He-Cdレーザー YAGレーザー ソーラーシミュレーター ソース・メジャーユニット 波形発生器 高電圧増幅器 ロックインアンプ LCRメーター Hall効果測定器