研究設備
私たちの研究室では、試料作製、デバイス作製、物性評価を行うための一連の装置を所有しています。また、必要に応じて学内の共用施設を使う場合もあります。
RFスパッタ装置
抵抗加熱真空蒸着装置
超高真空蒸着装置
マグネトロンスパッタ装置
高真空加熱炉
赤外線加熱炉
真空誘導加熱炉
UV-O3処理装置
光学顕微鏡
超高真空走査型プローブ顕微鏡
マスクレスLED描画装置
二次元物質転写装置
フォトリソグラフィ装置
大気プローバー
真空プローバー
UV-VIS
FT-IR
分光蛍光光度計
He-Cdレーザー
YAGレーザー
ソーラーシミュレーター
ソース・メジャーユニット
波形発生器
高電圧増幅器
ロックインアンプ
LCRメーター
Hall効果測定器