研究設備

 私たちの研究室では、試料作製、デバイス作製、物性評価を行うための一連の装置を所有しています。また、必要に応じて学内の共用施設を使う場合もあります。

RFスパッタ装置

抵抗加熱真空蒸着装置

超高真空蒸着装置

マグネトロンスパッタ装置

高真空加熱炉

赤外線加熱炉

真空誘導加熱炉

UV-O3処理装置

光学顕微鏡

超高真空走査型プローブ顕微鏡

マスクレスLED描画装置

二次元物質転写装置

フォトリソグラフィ装置

大気プローバー

真空プローバー

UV-VIS

FT-IR

分光蛍光光度計

He-Cdレーザー

YAGレーザー

ソーラーシミュレーター

ソース・メジャーユニット

波形発生器

高電圧増幅器

ロックインアンプ

LCRメーター

Hall効果測定器