モアレトポグラフィ技術の自動化の研究から縞解析技術へ、さらに光波干渉計を用いたより高精密測定へと研究分野を広げている。これらの計測に関する基礎技術を用いて、現在、MEMSの動特性解析技術の開発を行っている。
教員
新井 泰彦
ARAI Yasuhiko
システム理工学部 機械工学科 教授
[E-mail]
arai[at]kansai-u.ac.jp
※[at]を@に変更してください。
[研究分野]
光応用計測
研究テーマ
- 空間的縞解析法を用いた微小構造物の動特性解析技術の開発
- 構造物の動的形状計測法におけるスペックル干渉解析法の縞解析
- SEMによる極小構造物の形状計測法の開発
- 光駆動型極小機械要素の開発
キーワード
光応用計測、空間的縞解析法、形状計測、モアレ縞、光波干渉計測、縞走査、MEMS計測、非接触計測
応用技術分野
精密計測機器、人体計測、精密位置決め機器
研究業績
業績については、学術情報システムをご覧ください。